Processus et mise en œuvre des microtechnologies. Modules 1 et 2

Cette description des derniers procédés de microtechnologie pour les principaux projets de microscopie et de crémation intégrés микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Enquête sur les matériaux, les structures, les appareils et les caractéristiques électriques de vos appareils microphone. Les modèles et méthodes physico-chimiques analysent les processus technologiques de microtechnologie. H. Э. Baumana, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".

#ASTTD# Termes de recherche : Цветков Юрий Борисович , Cvetkov Urii Borisovich , Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана , Izdatelstvo MGTY im. NEBaymana, 9785703848647, 978-5-7038-4864-7, 2080707